氦氣(He)熱導(dǎo)氣體傳感器
氦氣(He)熱導(dǎo)氣體傳感器主要的結(jié)構(gòu)工作方式是在主氣路上部設(shè)置測(cè)量氣室,待測(cè)氣體通過(guò)擴(kuò)散作用進(jìn)入測(cè)量室,由于測(cè)量室中待測(cè)氣體與主氣路中的氣體進(jìn)行熱交換,再經(jīng)主氣路排出。這種結(jié)構(gòu)適應(yīng)于質(zhì)量較小的氣體的流量,因?yàn)橘|(zhì)量較小的氣體擴(kuò)散系數(shù)大。用這種類(lèi)型結(jié)構(gòu)的傳感器來(lái)測(cè)量質(zhì)量較小的氣體的成分量時(shí),滯后時(shí)間較小,受氣體流量波動(dòng)的影響也較小。而對(duì)于擴(kuò)散系數(shù)較小的氣體,如二氧化碳,測(cè)帶后的時(shí)間要增大。但如果減小測(cè)量室的體積,反應(yīng)速度可以提高。
,采用*的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn),利用被測(cè)組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測(cè)范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。
主要是檢測(cè)氫氣(H2),天然氣,甲烷(CH4)、二氧化碳(CO2),一氧化碳(CO),六氟化硫(SF6),疝氣(Xe),氦氣(He),氨氣(NH3)等氣體成份檢測(cè),也可用于測(cè)量非常小的氣體容積變化。
特點(diǎn)
測(cè)量精度高
靈敏度高
集成溫度補(bǔ)償,漂移小
體積小,響應(yīng)速度快
可以測(cè)量微小的氣體容量
高性?xún)r(jià)比
TO8封裝,抗沖擊能力強(qiáng)
應(yīng)用
天然氣的成份和來(lái)源分析
垃圾填埋,沼氣池中CO2和CH4含量
空氣混合物中的He或Xe含量
發(fā)電廠氫冷電機(jī)組循環(huán)氣中H2含量
工業(yè)窯爐、鍋爐的廢氣中CO2含量
化肥廠合成NH3與補(bǔ)充氣比例
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