便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要優(yōu)點(diǎn):
1.前級(jí)泵 1.7m3/h 粗抽能力,選用 ACP 系列干式真空泵,ATH 系列渦輪分子泵
2.氦氣抽速 1.1l/s
3.進(jìn)氣口壓力 15 hPa
4.大尺寸高亮彩色觸摸屏
5.便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 zui小可檢漏率:
真空模式:5E-13 Pa m3/s
吸qiang模式:5E-10 Pa m3/s
6.重量?jī)H 21Kg
7.豐富的可選配件,如吸qiang、遙控器、小推車、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 技術(shù)參數(shù):
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 | ASM 310 |
對(duì)氦氣的zui小檢測(cè)漏率 | 5E-13 Pa m3/s |
檢測(cè)模式 | 真空模式和吸qiang模式 |
氦質(zhì)譜檢漏儀前級(jí)泵抽速 | 1.7m3/h |
檢測(cè)氣體 | 4He , 3He, H2 |
相應(yīng)時(shí)間 | <1s |
對(duì)氦氣的抽氣速度 | 1.1 l/s |
進(jìn)氣口zui大壓力 | 15 hPa |
尺寸 | 350 X 245 X 141 mm(14 X 10 X 16 inch) |
重量 | 21 kg (46 lb) |
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 應(yīng)用:
1.半導(dǎo)體
2.分析儀器
3.工業(yè)
4.電廠



