關(guān)鍵詞:磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結(jié)、超導(dǎo)、量子器件、量子比特、
多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導(dǎo)、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超導(dǎo)鋁結(jié)、Josephson junction
型號(hào):MEB 550S2 產(chǎn)地:歐洲; 應(yīng)用:沉積Al、Ti、Ni、Au、W、Ag

磁控濺射和電子束蒸發(fā)鍍膜一體機(jī)是納米器件制備中的儀器,用于制備各種高純金屬薄膜和氧化物薄膜。開(kāi)展量子計(jì)算機(jī)實(shí)驗(yàn)研究,如基于金剛石NV色心,離子阱,超導(dǎo)量子結(jié),量子點(diǎn)電子自旋的研究,均需要蒸鍍/濺鍍各種高質(zhì)量金屬薄膜來(lái)制備量子器件。
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