產(chǎn)品簡介:100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD頻率為13.56MHz,專門與本司1"的磁控濺射頭配用,可搭建成一套較廉價的濺射鍍膜系統(tǒng),用于制作非導電薄膜。
| 產(chǎn)品型號 | 100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD |
| 技術參數(shù) | 1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率:5W-100W(可調(diào)),穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率:13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配:手動匹配 5、冷卻:風冷 6、噪音:<50dB |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:390mm×260mm×105mm |
| 可選配件 | 1、1"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買100W射頻發(fā)射器和1"磁控濺射頭時,本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75",可將濺射 頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L。 |








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