重工機(jī)械網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>電力裝備>常用材料>半導(dǎo)體材料>>公斤級(jí) 有機(jī)半導(dǎo)體材料提純升華儀BOF-8-210

公斤級(jí) 有機(jī)半導(dǎo)體材料提純升華儀BOF-8-210

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/3/19 14:10:42
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)312

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線(xiàn)詢(xún)價(jià)收藏產(chǎn)品點(diǎn)擊查看電話(huà)

索取相關(guān)資料

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年，隸屬百思集團(tuán)，其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬(wàn)平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心，貝意克工程技術(shù)中心，貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺(tái)。貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)，主營(yíng)各類(lèi)型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、 ALD、 PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類(lèi)非標(biāo)定制，產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、等高科技產(chǎn)業(yè)。公司致力于提供專(zhuān)業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力新材料研發(fā)。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

主要特點(diǎn)　　貝意克此款真空提純?cè)O(shè)備是全自動(dòng)有機(jī)小分子提純升華儀是專(zhuān)為生產(chǎn)設(shè)計(jì)

公斤級(jí) 有機(jī)半導(dǎo)體材料提純升華儀BOF-8-210 產(chǎn)品信息

　　主要特點(diǎn)

　　貝意克此款真空提純?cè)O(shè)備是全自動(dòng)有機(jī)小分子提純升華儀是專(zhuān)為生產(chǎn)設(shè)計(jì)?？蓪?shí)現(xiàn)量產(chǎn)10-20KG，流場(chǎng)設(shè)計(jì)，經(jīng)過(guò)工藝不斷摸索改進(jìn)。設(shè)備設(shè)有內(nèi)控外控切換，配備高精度質(zhì)量流量計(jì)和高真空機(jī)組，配備大容量冷凝過(guò)濾系統(tǒng)。設(shè)備工藝寫(xiě)入功能，可以讓操作者一鍵操作，重復(fù)率達(dá)到99.99%。貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司作為國(guó)內(nèi)的小分子提純?cè)O(shè)備生產(chǎn)商，提供滿(mǎn)足從研發(fā)級(jí)，中試級(jí)直至產(chǎn)業(yè)化級(jí)別所需的多種規(guī)格的升華儀，以幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線(xiàn)的無(wú)縫對(duì)接，此款升華儀作為公斤級(jí)設(shè)備以它高穩(wěn)定性和高溫度均勻性廣受生產(chǎn)型企業(yè)青睞。本款設(shè)備擁有6項(xiàng)。

　　技術(shù)參數(shù)

　　1.加熱元件：進(jìn)口KTL電阻絲。

　　2.加熱區(qū)數(shù)量：5-8區(qū)(可根據(jù)需求定制)，實(shí)現(xiàn)一個(gè)溫曲兩點(diǎn)控制，使溫場(chǎng)更均勻。

　　3.升華區(qū)溫度：室溫至800℃，連續(xù)可調(diào)。

　　保溫區(qū)溫度：室溫至400℃可調(diào);恒溫溫度隨時(shí)間和空間波動(dòng)不大于±1℃(測(cè)試方法符合國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)JJF 1184-2007)。

　　4.升華舟容積：0.5～10克，50～500克，500～2000克。

　　5.控溫方式：人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制。

　　6.無(wú)紙記錄：內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。

　　7.結(jié)構(gòu)描述：①設(shè)備可電動(dòng)對(duì)半開(kāi)啟，自動(dòng)控制冷卻降溫系統(tǒng).實(shí)現(xiàn)可控冷卻速度.

　?、谠谶M(jìn)料端配備2路高精度質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，準(zhǔn)確控制氣體流量，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。

　?、巯到y(tǒng)采用自動(dòng)化工藝流程，設(shè)定好工藝一鍵操作,降低人為因素，工藝可靠性可達(dá)到99.9%。

　　8.過(guò)濾方式：系統(tǒng)采用三級(jí)過(guò)濾保護(hù)裝置，分別采用5級(jí)微孔金屬濾網(wǎng)、2套液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺(tái)階式過(guò)濾。

　　9.外管尺寸Φ210X2000mm，腔體采用三層石英管裝置，可以自動(dòng)進(jìn)出料，結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染，保持較高的真空度。中層管取料方便，易于清洗，內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分，能限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率(升華率97%，與材料和配置有關(guān))。

　　10.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換，防止石英折射和散射造成的溫場(chǎng)不均勻現(xiàn)象。

　　11.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗，可以觀察生產(chǎn)中材料的提純情況，配上攝像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)升華過(guò)程全監(jiān)控和記錄。

　　12.抽真空端采用了主管直徑200mm的分子泵直連，確保實(shí)驗(yàn)中高真空的需求，在直徑200mm直管中間加插板閥，插板閥的兩端加直徑3mm細(xì)管多孔旁抽支路，防止在初真空時(shí)抽速太大影響分子擴(kuò)散的方向，導(dǎo)致材料不均勻。

　　13.前級(jí)機(jī)械泵 60m³/h,分子泵抽速160L/S。

　　本底真空：機(jī)械泵系統(tǒng)：1Pa 分子泵系統(tǒng)10-4Pa。

　　多種異形內(nèi)管可以選購(gòu)