SGM TF100-12IIII-4Z 管式爐PECVD系統(tǒng)是由SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐、4路質(zhì)子混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源組成。
SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐設(shè)計(jì)工作溫度1200℃，連續(xù)使用溫度1100℃，具有三個(gè)溫區(qū)，三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來(lái)控制，都可設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為150/300/150mm，總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm，爐管為高純石英管，爐管尺寸：100 O.D x 2400mm L ，輸入電源：208 – 240V AC，單相功率：6.6KW配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
主要技術(shù)參數(shù)：
電爐名稱：1200度小型三溫區(qū)管式爐
電爐型號(hào)：SGM TF100-12III三溫區(qū)管式爐
設(shè)計(jì)工作溫度：1200℃
連續(xù)使用溫度：1100℃
溫區(qū)數(shù)量：三溫區(qū)（150/300/150mm總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm）
爐管材質(zhì)：石英管
爐管規(guī)格：φ100*2400mm
輸入電源：208 – 240V AC，單相功率
溫控系統(tǒng)：三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序
帶有超溫和斷偶保護(hù)
控溫精度：+/- 1 oC
外型尺寸
爐體：860 mmL × 380 mmW × 680 mmH
爐體下端移動(dòng)柜：1800×600×600mm
凈重：220 Lbs.
運(yùn)輸重量：1200lbs。
*此款設(shè)備安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦，配置I5-9400H終端兩處，配置I7-10710U終端3處。
質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)
四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2和3: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口.
4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體.
進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
采用PLC控制流量計(jì)，通過(guò)觸摸屏進(jìn)行控制
射頻電源
輸出功率: 5 -500W ± 1% .
射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
反射功率: 200W
匹配: 自動(dòng)射頻接口: 50 Ω, N-type
噪音: <50 dB.
冷卻: 風(fēng)冷.
電源: AC 208-240V, 50/60Hz
防腐型真空計(jì)
輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）
測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.
數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
接頭 1/8"NPT 接頭
產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
真空系統(tǒng)
采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連.
管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
