澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應用場景及可靠的測量性能，在半導體制造、材料科學、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).

手動臺階儀供應商產(chǎn)品信息

澤攸科技臺階儀JS10B

產(chǎn)品介紹

手動臺階儀

澤攸科技手動臺階儀JS10B是一款高精度測量設備，采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設計，確保了測量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實時監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復性測量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測量功能，廣泛應用于半導體、微電子等領(lǐng)域。

應用領(lǐng)域

手動臺階儀

產(chǎn)品組成

突破三大核心技術(shù)

產(chǎn)品特色

JS10B臺階儀部分技術(shù)指標

名稱	詳細參數(shù)
樣品尺寸	≤150mm
最大掃描長度	55mm
重復性測量偏差	≤0.5nm（1μm標準塊重復掃描30次）
探針加力范圍	0.5-50mg
垂直分辨率	0.05nm滿量程
掃描分辨率	10nm
掃描速度	5μm/s-100μm/s
掃描最大采集點數(shù)	200萬點
軟件功能	臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量