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VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

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公司名稱北京鴻瑞正達科技有限公司
品牌
型號
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2026/6/3 8:47:56
訪問次數(shù)12

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北京鴻瑞正達科技有限公司—實驗室整體建設解決方案集成者鴻瑞正達主要服務于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè)，專注于科研領域，助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設備及整套解決方案，包括：高壓科學材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領域的科研成套設備。公司本著“、服務至上”的宗旨，刻苦奮斗、拼搏進取的精神，以自立自強為目標，為科研院所、高校、研發(fā)企業(yè)等多類客戶，提供全面的實驗室整體建設解決方案，真正實現(xiàn)材料研究實驗設備一站式采購的便利我們的服務理念是：讓科研更高效、便捷。公司于2020年3月份成立，創(chuàng)始人黃皇先生一直從事于科研行業(yè)，他深知科技立族立、科技強則國家強，努力創(chuàng)造更多原創(chuàng)科技成果，為建成世界科技強國、實現(xiàn)中華民族偉大復興的中國夢而努力奮斗。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)品簡介：VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等

VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介： VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。 VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備，特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質(zhì)及 OLED 等。

產(chǎn)品名稱	VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號	VTC-600-3HD
安裝條件	本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。
	1、水：設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
	2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地
	3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套
	接頭）及減壓閥

	4、工作臺：尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1 、配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換）。 2、可制備多種薄膜，應用廣泛。 3、體積小，操作簡便。 4、整機模塊化設計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整。 5、可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。
技術參數(shù)	1、電源電壓： 220V 50Hz 2、總功率：＜2.5KW 3、極限真空度： < E-6mbar （配合本公司設備使用可達到E-5mbar） 4、工作溫度： RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）
	5、靶槍數(shù)量： 3 個 6、靶槍冷卻方式：水冷 7 、靶材尺寸： ?2″ ，厚度 0.1mm-5mm （因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 8、直流濺射功率： 500W （可選） 9、射頻濺射功率： 300W/500W （可選） 10、載樣臺： ?140mm 11、載樣臺轉(zhuǎn)速： 1rpm-20rpm 內(nèi)可調(diào) 12、保護氣體： Ar 、N2 等惰性氣體 13、進氣氣路：質(zhì)量流量計控制 2 路進氣， 1 個流量為 100 SCCM ，1 個流量為 200 SCCM
產(chǎn)品規(guī)格	主機尺寸： 500mm ×560mm×660mm ，整機尺寸： 1300mm ×660mm×1200mm；重量： 160kg
標準配件	1	直流電源控制系統(tǒng)	2 套

	2	射頻電源控制系統(tǒng)	1 套
	3	膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)	1 套
	4	分子泵（德國進口）	1 臺
	5	冷水機	1 臺
	6	冷卻水管（?6mm）	4 根
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材