產(chǎn)品型號規(guī)格如下:
| 電子束光刻膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度 | 適用范圍 |
| SU-8 GM1010 | 電子束 | 負性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可適用于高寬比較大的納米結(jié)構(gòu) | |
HSQ | 電子束 | 負性 | 6nm | 30nm-180nm | 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕 | |
| XR-1541-002/004/006 | 電子束 | 負性 | 6nm | 30nm-180nm | 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕 | |
| HSQ FOX-15/16 | 電子束 | 負性 | 100nm | 350nm-810nm | 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕 | |
| PMMA(國產(chǎn)) | 電子束 | 正性 | / | 高分辨率適用于各種電子束工藝 | ||
| PMMA(進口) | 電子束 | 正性 | / | 高分辨率適用于各種電子束工藝 |




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