處理技術(shù)：
低溫等離子體分為四大類：雙介質(zhì)阻擋放電等離子體設(shè)備、單介質(zhì)阻擋放電等離子體設(shè)備、毛細(xì)放電等離子體設(shè)備、平行極板等離子體設(shè)備。引進前蘇聯(lián)高頻高壓大功率變壓器技術(shù)，是目前國內(nèi)少數(shù)掌握高頻高壓油浸式變壓器技術(shù)的企業(yè)，奠定低溫等離子體大功率輸出的技術(shù)基礎(chǔ)。
設(shè)備機理：
等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中,等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
設(shè)備原理：
低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項具有潛在優(yōu)勢的*，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學(xué)科界的高度關(guān)注。
工作原理：
等離子體被稱為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體以每秒800萬次至5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。
等離子體有機廢氣凈化器工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約8eV的大量電子作用下，使通過處理器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。
在處理過程中，當(dāng)有機氣體進入等離子體反應(yīng)室時，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室。反應(yīng)室分成模塊式管子區(qū)，每根管子的有一根放電極，與反應(yīng)室獨立隔開。通過高壓線對反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進和負(fù)荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應(yīng)室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應(yīng)室內(nèi)的反應(yīng)。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化"
過程一：高能電子直接轟擊
過程二：產(chǎn)生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片
O2 + 2e → 2O·
O2 + O·→ O3 + e
H2O + 2e → H·+ HO·
H2O + O·+ e → 2HO·
H·+O2 → HO·+ O
C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2e → CaHmOx·+ CbHnOy·
過程三：分子碎片氧化
CaHmOx + HO·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O2 → CO2 + H2O
CaHmOx + O3→ CO2 + H2O
經(jīng)過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質(zhì)及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關(guān)反應(yīng)機理如下：
H2O + e → H·+ HO·+ e
H·+ O3 → O2 + HO·
HO·+O3 → HO2·+ O2
HO2·+ O3 → HO·+ O2
因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
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