詳細摘要： 多腔體磁控濺射團簇系統(tǒng)（用于金屬和氧化物）
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上海續(xù)波光電技術有限公司
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詳細摘要： MEB550S4超高真空磁控濺射及電子束蒸鍍系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：所在地：上海更新時間：2022-08-27 在線留言
詳細摘要： MEB 550SL3超高真空多腔體電子束蒸鍍系統(tǒng)
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詳細摘要： 關鍵詞：多靶磁控濺射、共濺射、Co-sputter、金屬膜、氧化膜、半導體膜、非金屬膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、Qubit、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮...
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詳細摘要： 關鍵詞：多靶磁控濺射、共濺射、Co-sputter、金屬膜、氧化膜、半導體膜、非金屬膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、Qubit、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮...
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詳細摘要： 根據(jù)近樣、離子束刻蝕、蒸鍍、濺射、氧化等功能在不通腔體中實現(xiàn)方式
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