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PMD-氣浮隔振大理石平臺(tái)

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武漢華創(chuàng)微振機(jī)電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：■臺(tái)面材料采用健康型天然大理石平臺(tái)，其明顯優(yōu)點(diǎn)是平面度好、質(zhì)量大、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強(qiáng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

■臺(tái)面材料采用健康型天然大理石平臺(tái)，其明顯優(yōu)點(diǎn)是平面度好、質(zhì)量大、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強(qiáng)。

■隔振器采用高阻尼低頻空氣彈簧，配帶無油空壓機(jī)，隔振性能優(yōu)良，系統(tǒng)穩(wěn)定。具有自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，噪聲低等特點(diǎn)。關(guān)鍵氣動(dòng)執(zhí)行元件均采用進(jìn)口產(chǎn)品。

■該產(chǎn)品適用于XY精密移動(dòng)檢測平臺(tái)，晶圓檢測，芯片檢測，輪廓儀，點(diǎn)膠機(jī)檢測等平面度要求高的實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)指標(biāo)：
■平面度：00級(jí)
■固有頻率：x方向：1.5Hz～2Hz y方向：1.5Hz～2Hz
■重復(fù)定位精度：±0.05mm
■比重：2970 ~ 3070 kg/㎡
■抗壓強(qiáng)度：245?254 Mpa
■彈性模量：1.27 ~ 1.47 Gpa
■線膨脹系數(shù)：4.61x10—6/0 C
■吸水率：<0.31%

■肖氏硬度：70 Hs以上

■接受特殊規(guī)格尺寸訂做