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上海沃盾精密設(shè)備科技有限公司
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更新時(shí)間：2025-06-24 12:38:44瀏覽次數(shù)：131次
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產(chǎn)品介紹：菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù)，是一種高 精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系
系統(tǒng):
◆測(cè)量功能：精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
◆測(cè)量技術(shù)：機(jī)械相移干涉測(cè)量（PSI）
◆校準(zhǔn)系統(tǒng) ：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆測(cè)量光束直徑 ：4″（102mm）或6″（152mm）
◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV ：4″：±3°；6″：±2°；
◆光學(xué)中心線 ：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III
◆波長(zhǎng)： 633 nm
◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm
◆相干長(zhǎng)度 ：＞100m
◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素
◆幀速 ：43Hz
◆數(shù)據(jù)采集時(shí)間 ：302ms
◆數(shù)據(jù)模式： 8位
◆放大 ：電控?cái)?shù)顯放大1-5X
◆偏振 ：接近圓偏振（1.2：1或者更好）
◆光曈調(diào)焦范圍： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；
◆計(jì)算機(jī)和軟件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安裝構(gòu)造 ：水平臥式或垂直立式
◆附件 ：詳細(xì)參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463
◆尺寸(長(zhǎng)x寬x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能參數(shù)：
◆RMS重復(fù)性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復(fù)性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作環(huán)境：
◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
◆溫度變化率： ＜1.0°C/15min
◆濕度:相對(duì)濕度5% - 95% , 無(wú)凝結(jié)
◆隔振:機(jī)械移相測(cè)量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統(tǒng)。
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