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電子顯微鏡（鎢燈絲掃描電鏡）

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產品型號VEGA 3 XMH

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產品簡介

電子顯微鏡（鎢燈絲掃描電鏡）

詳細介紹

VEGA 3 XMH

分辨率高真空模式(二次電子) 低真空(背散射電子)	3.0nm(30kV),8.0nm(3kV) -
工作真空高真空模式低真空模式	＜9×10^-3Pa -
電子光學工作模式	分辨率/景深/視野/大視野/搖擺電子束
放大倍率	3x-1,000,000x
加速電壓	200V至30KV
電子槍	鎢燈絲
探針電流	1pA至2μA
掃描速度	從20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或連續(xù)調整
聚焦窗口	形狀、尺寸和位置連續(xù)可調
掃描特性	動態(tài)聚焦，點和線掃描，傾斜校正，3D Beam
圖象尺寸	可達8192×8192象素，可單獨調整為動態(tài)圖象（4種）和存檔的圖象（10種），圖象比例可選1：1、4：3或2：1
顯微鏡控制	通過計算機（鍵盤、鼠標、軌跡球）操作VEGA TC軟件，所以顯微鏡的功能均可在Windows^TM平臺下實現(xiàn)
自動程序	真空控制，燈絲加熱，電子槍合軸，掃描模式對中，加速電壓改變的補償，化束斑大小和探針電流，化放大倍率和束斑大小，掃描速度，亮度和對比度，聚焦和消像散，灰階觀察表格.
遠程控制	通過TCP/IP

樣品室

內部尺寸	300mm寬×330mm深
門寬	280mm寬×310mm深
接口數(shù)量	11+
樣品室減震方式	氣墊（可選配內置主動式氣墊減震）

樣品載臺

類型	全電腦化優(yōu)中心
移動范圍	X=130mm —— 馬達驅動 Y=130mm ——馬達驅動 Z=100mm —— 馬達驅動旋轉：360°連續(xù)可調——馬達驅動傾斜：-20°到+90°——馬達驅動
樣品高度	143mm

軟件

測量軟件

圖象操作

圖象處理

3D掃描

硬度

多圖校正

目標面積

打印放大倍率

關機定時器

公差

形態(tài)

顆粒度分析

自動抓圖

圖象觀測

電子束寫入

鼠標連接

●

○

●標配 ○選配

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