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KDY-20型兩探針測試儀半導體材料電阻率分析儀兩探針儀

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更新時間：2023-02-19 15:45:10瀏覽次數(shù)：366次

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產(chǎn)品簡介

KDY-20型兩探針電阻率測試儀1、概述KDY-20型兩探針電阻率測試儀（以下簡稱兩探針儀）是按照我國國標及美國材料與試驗協(xié)會（ASTM）SEMIMF397-1106（用兩探針測量電阻率的測量方法）推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法"設計

詳細介紹

KDY-20型兩探針電阻率測試儀

1、概述

KDY-20型兩探針電阻率測試儀（以下簡稱兩探針儀）是按照我國國標及美國材料與試驗協(xié)會（ASTM）SEMI MF397-1106（用兩探針測量電阻率的測量方法）推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法"設計。它適合于測量橫截面尺寸是可測量的，而且棒的長度與橫截面尺寸之比不應小于3：1。例如橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出，遠離電壓測量探針，因此電流流過金屬與半導體接觸處產(chǎn)生的許多副效應（如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等），對測量的影響較小，因此兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。特別是對多晶材料的測量，由于多晶晶粒間界處，雜質(zhì)局部偏析可能導致電阻率較大變化，這種影響對四探針法更為嚴重，故不推薦用四探針法測量多晶材料的電阻率。

本儀器主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流開關，在測量某些材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護被測材料。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移探針頭"，間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復性的準確度。本機可配用KDY兩探針測量系統(tǒng)，置入必須的數(shù)據(jù)后，測量軟件會配合探頭在硅棒上移動測量，自動計算各點的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的值、電阻率最小值，百分變化，測量數(shù)據(jù)實時存儲在數(shù)據(jù)庫中，可隨時查詢所有測量數(shù)據(jù)或按條件查詢；提供打印及導出格式供用戶選擇，測量快速、準確，用戶在測量使用時會更加方便快捷。

2、技術參數(shù)

（1）測量范圍：

可測硅晶體電阻率：0.005-10000Ω·cm

可測硅棒尺寸：長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）

（2）恒流源：

輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA 、1.0-10mA、10-100mA

恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表：

測量范圍：0-199.99mV

靈敏度：10μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)±0.01%滿度）