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DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置

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產(chǎn)品簡介

裝置將13.560MHz射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈,用電感耦合方式激勵(lì)氣體,使其放電產(chǎn)生等離子體.這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn),并可以獲得純凈的等離子體.裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用

詳細(xì)介紹

裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵(lì)氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn) , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

1、等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn) , 如大腸桿菌 (8099)、 (ATCC6538)；

2、等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn) , 如紙張親水性、紙張接觸角；

3、等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn)；

4、等離子體聚合實(shí)驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù)

1、等離子體腔體體積：φ140mm×（H）155mm；

2、射頻功率： 0 ～ 500W；頻率：13.560MH Z ；

3、工作氣壓： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；

4、反應(yīng)腔本底真空： ≤ 5Pa；

5、反應(yīng)腔極限真空： 1×10 -1 Pa；

6、等離子體電子溫度： 1 ～ 8Ev；