Cascade E/MPS150TRIAX 美博6英寸高通用經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)
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長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司
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長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)α-300
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地長沙市
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更新時(shí)間：2025-04-10 08:55:48瀏覽次數(shù)：29次
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12英寸及以下晶圓或芯片WAFER 測試
1 探針臺(tái)主機(jī)：α-300
1.1 適用： 12英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸： 粗調(diào)行程：310mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：340mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z軸： 移動(dòng)量：10mm
粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)
微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)
1.5 θ軸： 移動(dòng)量：±8°以上
1.6 平行度： 對(duì)載物臺(tái) 30um以內(nèi)
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）
1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）
1 探針臺(tái)主機(jī)：α-300
1.1 適用： 12英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸： 粗調(diào)行程：310mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：340mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z軸： 移動(dòng)量：10mm
粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)
微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)
1.5 θ軸： 移動(dòng)量：±8°以上
1.6 平行度： 對(duì)載物臺(tái) 30um以內(nèi)
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）
1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）
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