微波集成電路采用等離子清洗機(jī)可以有效清除鍵合區(qū)的污染物，提高鍵合區(qū)表面化學(xué)能及浸潤(rùn)性，因此在引線鍵合前進(jìn)行等離子清洗可以大大降低鍵合的失效率，提高產(chǎn)品的可靠性。
從反應(yīng)機(jī)理來(lái)看等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相物質(zhì)；反應(yīng)殘余物脫離表面。
由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在，其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)，這種反應(yīng)可分為物理的或化學(xué)的。
1、原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng)：自由基呈電中性，主要作用表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程的能量傳遞的活化作用，通過(guò)與物體表面分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，持續(xù)產(chǎn)生新的自由基，釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)的推動(dòng)力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。
2、電子與物體表面的作用：電子對(duì)物體表面進(jìn)行撞擊，即可促使吸附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或解吸，又?jǐn)y帶有負(fù)電荷有利引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。
3、離子與物體表面的作用：帶正電荷的陽(yáng)離子有加速?zèng)_向帶負(fù)電荷表面的傾向，使物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以撞擊去除掉表面上附著的顆粒性物質(zhì)，我們把這種現(xiàn)象稱(chēng)為濺射現(xiàn)象。
4、紫外線與物體表面的反應(yīng)：紫外線具有很強(qiáng)的光能，使附著在物體表面的物質(zhì)的分子鍵發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線具有很強(qiáng)的穿透能力，可透過(guò)物體的表層并深人數(shù)微米而產(chǎn)生作用。
綜上所述，等離子清洗機(jī)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將附著在物體表面的氧化物及污物*剝離去除。
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