產(chǎn)品簡介：VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spincoater主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機，在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量

詳細介紹

產(chǎn)品簡介： VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、 spin coater 主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機，在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù) 蒸發(fā)到含量。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制，電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的 PLC 進行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在 100-2000RPM 范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要進行設置。 VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、 spincoater 啟動快速、轉(zhuǎn) 數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定，采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡便。此外，在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉(zhuǎn)時的噪音。

產(chǎn)品型號

VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、 spin coater

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設備配有進出水口

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地。

3、氣：不需要

	4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kgs 以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡便；橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。 2、該機上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。 3、本機上蓋具有 4 組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。 4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式，電機調(diào)速系統(tǒng) 則采用了抗干擾性高的 PLC 進行控制，數(shù) 值顯示更直觀可靠，轉(zhuǎn) 數(shù) 在 100-2000RPM 內(nèi)可調(diào)。 5、涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要，可分別進行時間 1、轉(zhuǎn)速 1、時間 2、轉(zhuǎn)速 2 的設置。設置完成啟動后，涂膜機先以轉(zhuǎn)速 1 在時間 1 時間內(nèi)運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當時間 1 時間結束時，涂膜機自動進入時間 2 時間階段運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。
	6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉(zhuǎn)時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優(yōu)異的抗應力開裂性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質(zhì)輕。
技術參數(shù)	1、電源： AC220/110V、 50/60Hz 2、電機功率：功率 210W 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設置，在啟動后先低速運轉(zhuǎn)(滴涂膠液)，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。轉(zhuǎn)數(shù) 1： 100-2000 RPM 有效時間 1： 1--200s 有效轉(zhuǎn)數(shù) 2： 100-2000 RPM 有效時間 2： 1--200s 有效 4、適用于 Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍： 0-100℃。 6、環(huán)境溫度 5-40℃，相對濕度不大于 85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。
規(guī)格尺寸	主機外形尺寸 500mm （長） ×410mm （寬） ×330mm （高），重量 24Kg。