真空探針臺(tái)主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到350℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用級(jí)別真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
1、可用于光學(xué)測(cè)試、電信號(hào)測(cè)試、氣敏測(cè)試等精密封裝測(cè)試
2、分子泵極限真空度10-4，機(jī)械泵極限真空度1pa以下
3、漏電流小于10皮安
4、可配備高低溫模塊，高溫可到1000°以上，低溫可到-190°
5、級(jí)三同軸BNC接頭，保證設(shè)備氣密性和抗干擾性
6、探針上下左右均可移動(dòng)，并設(shè)有滑軌，操作更加方便
7、在真空液氮溫度下，樣品不會(huì)結(jié)霜，保證實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性
8、標(biāo)準(zhǔn)模塊高低溫采用雙極溫控，30段程序控制升降溫20℃/min，操作簡(jiǎn)單方便
10、可加裝凹視窗減小鏡頭和樣品的距離至7mm，方便拉曼測(cè)試
11、多功能選配，可加裝光纖、上下透窗、拉伸夾具等，適合多種實(shí)驗(yàn)用途。
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