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INFICON UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS干式氦氣檢漏儀英福康

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湖南毫巴真空技術(shù)有限公司

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氦氣泄漏檢測(cè)器UL6000Fab系列UL6000Fab/UL6000FabPLUS為泄漏測(cè)試的速度和精度設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)干式氦氣檢漏儀ULTRATEST™傳感器技術(shù)定義泄漏檢測(cè)的速度和準(zhǔn)確性INFICONUL6000氦氣檢漏儀旨在滿足苛刻的泄漏檢測(cè)應(yīng)用的要求

詳細(xì)介紹

氦氣泄漏檢測(cè)器

UL6000 Fab 系列

UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS

為泄漏測(cè)試的速度和精度設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)

干式氦氣檢漏儀

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

定義泄漏檢測(cè)的速度和準(zhǔn)確性

INFICON UL6000 氦氣檢漏儀旨在滿足苛刻的泄漏檢測(cè)應(yīng)用的要求。UL6000采用INFICON專有軟件算法I·CAL和HYDRO·S，采用經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的真空設(shè)計(jì)，提供了測(cè)試靈活性、高靈敏度和快速準(zhǔn)確的結(jié)果，使任何泄漏檢測(cè)應(yīng)用程序快速而簡(jiǎn)單。

UL6000 在所有測(cè)試范圍內(nèi)均可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)，從達(dá)到測(cè)試條件到獲得最終結(jié)果的整個(gè)周期時(shí)間極其短暫。此專門(mén)設(shè)計(jì)的真空架構(gòu)可以提供持續(xù)高速的氦氣泵速以及極其快的響應(yīng)，能夠滿足您的需求。

泄漏檢測(cè)既耗時(shí)又復(fù)雜。通過(guò)測(cè)量上升率（RoR），半導(dǎo)體和真空設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中受到持續(xù)監(jiān)控。在通過(guò)該整體泄漏測(cè)試顯示泄漏后，使用氦氣噴射（噴氦）方法定位泄漏位置，以便進(jìn)行所需的維修。隨后是另一次使用壓力增加或所謂的真空衰減測(cè)量的泄漏測(cè)試——這是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，需要重復(fù)進(jìn)行，直到檢測(cè)到所有泄漏。此外，為了盡可能精確，對(duì)于大的設(shè)備體積，該程序的測(cè)量時(shí)間通常特別長(zhǎng)。得益于我們的智能上升率功能I·RISE，新的UL6000 Fab PLUS現(xiàn)在可以單獨(dú)進(jìn)行壓力上升測(cè)量，并將其與氦氣噴射(噴氦）方法相結(jié)合。我們的系統(tǒng)使測(cè)量時(shí)間大幅下降，從而有助于限度地減少泄漏測(cè)試和晶圓廠設(shè)備維護(hù)的一般時(shí)間。體驗(yàn)更快、更超前。

優(yōu)勢(shì)

HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能夠快速達(dá)到測(cè)試條件。
UL6000 Fab PLUS - 其他優(yōu)勢(shì)

擁有I-RISE，我們的智能上升率：提供設(shè)備內(nèi)壓力上升測(cè)試，并結(jié)合氦氣噴射（噴氦）方法
在10秒內(nèi)完成上升率的測(cè)量
有助于限度地減少泄漏測(cè)試和工廠設(shè)備維護(hù)的一般時(shí)間
更快，更精確

I-CAL（智能 - 泄漏率計(jì)算算法）確保對(duì)所有測(cè)試范圍內(nèi)的泄漏做出快速響應(yīng)。
特殊的多進(jìn)口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供氦氣泵速和高氦氣壓縮率，從而提供靈敏度、快速響應(yīng)和清洗。
渦輪分子泵可以對(duì)任何測(cè)試對(duì)象（包括容量和腔室）提供極其快速的響應(yīng)。
經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 INFICON 扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀采用、免維護(hù)設(shè)計(jì)，歷經(jīng)數(shù)年仍可提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。
自我保護(hù)功能可保護(hù) UL6000 免受氦氣和粒子污染，甚至還設(shè)有自動(dòng)沖凈周期，確保 UL6000 隨時(shí)可用。
旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制接口和可選遠(yuǎn)程手動(dòng)控制器提供操作靈活性。
可通過(guò)軟件啟用對(duì)裝置和系統(tǒng)軟件的訪問(wèn)控制，從而阻止未經(jīng)地使用或意外修改測(cè)試設(shè)定。
通過(guò)電子郵件升級(jí)軟件，確保您的 UL6000 始終處于工作狀態(tài)。
新型工作站設(shè)計(jì)，帶有高度的工作臺(tái)面，并且配備有防靜電臺(tái)墊和工具箱，便于測(cè)試。