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半導(dǎo)體研磨廢液

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武漢怡清環(huán)保工程有限責(zé)任公司

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體研磨廢液

詳細(xì)介紹

切削液是一種在半導(dǎo)體研磨加工過程中，用來冷卻和潤滑刀具和加工件的工業(yè)用液體，切削液由多種功能助劑經(jīng)科學(xué)復(fù)合配合而成，同時(shí)具備良好的冷卻性能、潤滑性能、防銹性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀釋特點(diǎn)。切削液具有良好的冷卻、清洗、防銹等特點(diǎn)。金屬切削乳化液廣泛用于金屬及其合金在加工過程，其廢液屬于危險(xiǎn)廢物HW09范疇，對(duì)環(huán)境負(fù)面影響極大，且由于油和水緊密結(jié)合在一起形成穩(wěn)定的乳化態(tài)而非常難處理，號(hào)稱“工業(yè)廢水癌癥"。傳統(tǒng)的蒸餾法、生物法、吸附法等處理成本高，處理效果不佳，對(duì)環(huán)境危害大。

化硅常用的切削液有油基切削液和水基切削液。油基切削液有礦物油、動(dòng)植物油、普通復(fù)合切削油、極壓切削油；水基切削液有乳化液、合成液體、化學(xué)溶液和半合成切削液。

由于切削液處理難度大，投資成本高。目前，大部分工廠切削液均采用委外處置的方式，處理費(fèi)用高，運(yùn)輸、暫存、管理工作復(fù)雜。

碳化硅陶瓷微濾、超濾膜采用高硬度、高強(qiáng)度的碳惰性材料經(jīng)重結(jié)晶在2400℃的高溫下燒結(jié)而成。具有以下優(yōu)點(diǎn)：①的化學(xué)穩(wěn)定性；②的導(dǎo)熱性；③超低的熱膨脹性；④的抗磨性；⑤40%-50%的高空隙率；⑥“0"親角清水性，膜通量是一般膜的5-10倍。

過濾粒徑小于膜孔徑的物質(zhì)（或溶劑）透過膜進(jìn)入下一步工序。大分子物質(zhì)（或固體微粒）被膜截留并被帶出膜組件并回流到加熱罐。這樣循環(huán)工作，隨著濾液不斷流出，截留物的含量便越來越高，最終達(dá)到分離除雜的目的。切削液處理設(shè)備既可將廢切削液處理達(dá)標(biāo)后回收利用，也可將不可時(shí)原料液從加熱罐中由泵輸送到SiC陶瓷膜組件后，由于膜的內(nèi)外存在壓差，溶解性的物質(zhì)或回收的廢液濃縮減排，給客戶帶來雙重經(jīng)濟(jì)效益。

碳化硅膜相比普通氧化鋁膜氧化耐受性、化學(xué)耐受性都要強(qiáng)，其高親水通量的特征更是讓其在處理各種切削液、乳化液又較為明顯的優(yōu)勢(shì)，使其在使用過程中更易清洗，不易堵塞。碳化硅陶瓷膜其優(yōu)異的特征使其成為一代膜過濾技術(shù)。