X射線膜厚測試機(jī)主要用于測量設(shè)備的生產(chǎn)中*的極薄膜、多層膜乃至半導(dǎo)體晶圓的硅膠基板厚度,膜厚儀可滿足用戶各種各樣的需求?;旧纤泄饣摹胪该鞯幕虻臀障禂?shù)的薄膜都可以測量。
X射線膜厚測試機(jī)采用磁感應(yīng)原理時,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。
在膜厚測量電路中,正弦振蕩器IC1、IC2產(chǎn)生頻率為1-100kHz的正弦波,加在變壓器B1初級上,次級輸出的正弦信號加到橋式電路的輸入端,由該橋路在非平衡狀態(tài)下獲取金屬材料表面的渦流變化;渦流變化量由檢測放大器IC3進(jìn)行適當(dāng)放大,再經(jīng)交流放大器IC4和IC5放大數(shù)十倍后,經(jīng)轉(zhuǎn)換電路將渦流變化量轉(zhuǎn)換為膜厚,由指示儀表顯示。
X射線膜厚測試機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)有哪些?
1、該膜厚儀嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的接觸面積和測量壓力,同時支持各種非標(biāo)定制
2、測試過程中測量頭自動升降,有效避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差
3、支持自動和手動兩種測量模式,方便用戶自由選擇
4、實(shí)時顯示測量結(jié)果的大值、小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)
5、配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定,保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性
6、支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時顯示、自動統(tǒng)計(jì)、打印等許多實(shí)用功能
7、微電腦控制,搭配液晶顯示器、菜單式界面和PVC操作面板
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